Publié le 18 février 2011
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18 février 2011
10h00
salle des séminaires (amphithéâtre)
Bâtiment A
CNRS
25 Rue des Martyrs
Grenoble
salle des séminaires
Bâtiment A
CNRS
25 Rue des Martyrs
Grenoble
Titre:
Analyse électrique de diélectriques SiOCH poreux pour évaluer la fiabilité des interconnexions avancées
Cette thèse, réalisée dans le cadre d'une CIFRE STMicroelectronics en collaboration avec le G2Elab et le CEA LETI, a été dirigée par Alain Sylvestre (G2Elab) et co-encadrée par David Roy (STMicroelectronics) et Cyril Guedj (CEA-LETI).
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mise à jour le 18 février 2011