Bio Mag-Mems & micro energies

Ces dispositifs expérimentaux sont hébergés au site MINATEC CIME Nano Tech (Centre Interuniversitaire de Microélectronique et Nanotechnologies). Ce centre regroupe un ensemble de 8 plateformes technologiques dédiées à la formation et à la recherche dans le domaine de la microélectronique et des nanotechnologies.
 

Les équipements spécifiques :
Au sein de la plateforme dédiée aux biotechnologies, l’équipe s’est dotée des équipements nécessaires pour la fabrication et l’utilisation de chips micro fluidiques souples :

• Tournette SPIN 150, permettant l’enduction de substrats jusqu’à 150 mm de diamètre
• Insolateur masqueur UV led 365 nm KLOE, permettant la définition de motifs par photolithographie
• Cube UV Ozone PSD-UV4, permettant le nettoyage et l’activation de surfaces polymères en vue d’un collage ou d’une fonctionnalisation de surface
• Contrôleur de micro fluide FLUIGENT, permettant le contrôle de débit sur quatre canaux différents en simultané

Au sein de la plateforme C²μ (Centre de Caractérisation Microsystèmes), un banc de caractérisation thermique/électrique de récupérateurs d’énergie hybrides a été mis en place:

• Caméra thermique infrarouge SC500 permettant l’obtention d’informations sur la distribution thermique en surface
• Voltmètre électrostatique sans contact
• Interféromètre différentiel laser Polytech PI OVF3002
• Imprimante 3D Makerbot Replicator 2X
• Sources de champs magnétiques homogènes à aimants permanents, de 0.1 à 0.5T
• Bain d’huile diélectrique thermostat P-Sélecta, fournissant un milieu à température constante